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金融时报:华为统筹国产光刻机,宇量昇 DUV 年底目标 12 台

2026-09-08 12:12:48

ChainCatcher 消息,英国《金融时报》称,华为正在更深地介入国产光刻机供应链,不仅投资相关设备和零部件公司,还在协调供应商、晶圆厂和整机厂商,推动国产 DUV 进入实际产线。Bernstein 分析师将华为形容为中国 DUV 项目的「项目管理者」。

进展最快的是上海宇量昇。该公司参与开发国产先进 DUV,设备已在中芯国际等晶圆厂和华为自己的产线上测试,计划今年底生产 12 台。现阶段主要先做较简单芯片,最终目标是用于先进 AI 芯片制造。

国产 DUV 目前还没有完全摆脱海外供应链。宇量昇使用的投影镜头仍来自德国 Zeiss,高功率光源也是主要瓶颈。华为已投资至期光子、科益虹源等公司,分别补国产镜头和光源。

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