Công thức quy trình khắc của Samsung bị lộ nhiều lần chảy vào công ty Hanwha

Theo báo cáo của phương tiện truyền thông bán dẫn Hàn Quốc THE ELEC, công thức quy trình khắc mà Samsung Electronics sử dụng cho sản xuất bán dẫn đã bị rò rỉ đến nhà cung cấp thiết bị Lam Research Hàn Quốc. Cuộc điều tra nội bộ của Samsung phát hiện rằng việc truyền dữ liệu vượt quá phạm vi ủy quyền đã xảy ra nhiều lần và coi đây là một sự cố rò rỉ công nghệ nghiêm trọng. Lam Research là nhà cung cấp thiết bị cho dây chuyền sản xuất bán dẫn của Samsung, chủ yếu cung cấp thiết bị khắc và lắng đọng.

Dữ liệu phát sinh trong quá trình vận hành thiết bị sẽ được lưu trữ trong các hệ thống như máy chủ giám sát nội bộ của nhà máy. Theo thỏa thuận giữa hai bên, Lam Research có thể nhận được một phần dữ liệu thiết bị trong phạm vi giới hạn, để tối ưu hóa hiệu suất và bảo trì, và công ty Hàn Quốc của họ sẽ gửi yêu cầu dữ liệu đến Samsung. Cuộc điều tra của Samsung phát hiện rằng một số công thức quy trình không được phép cung cấp ra ngoài đã được chuyển đến Lam Research Hàn Quốc dưới dạng tài liệu độc lập, việc truyền dữ liệu liên quan đến các yêu cầu không tuân thủ và không phải là hành vi đơn lẻ. Samsung đã phát hiện vấn đề này vào nửa cuối năm nay.

Công thức quy trình bán dẫn ghi lại nhiệt độ thiết bị, áp suất buồng, lưu lượng khí và thời gian xử lý, v.v., là các tham số quan trọng, ảnh hưởng trực tiếp đến tỷ lệ sản xuất chip, hiệu suất và tính ổn định của sản xuất, thuộc về tài liệu công nghệ cốt lõi của các doanh nghiệp sản xuất wafer. Lam Research Hàn Quốc đã công bố vào ngày 6 tháng 11 rằng Kim Tae-won sẽ thay thế Park Jun-hong giữ chức CEO. Một số người trong ngành liên kết sự thay đổi lãnh đạo này với sự cố rò rỉ dữ liệu, nhưng hiện tại không có thông tin công khai nào chứng minh mối quan hệ trực tiếp giữa hai sự kiện này. Samsung Electronics và Lam Research Hàn Quốc đều chưa phản hồi yêu cầu phỏng vấn của THE ELEC.