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金融時報:華為統籌國產光刻機,宇量昇 DUV 年底目標 12 台

2026-09-08 12:12:48

ChainCatcher 消息,英國《金融時報》稱,華為正在更深地介入國產光刻機供應鏈,不僅投資相關設備和零部件公司,還在協調供應商、晶圓廠和整機廠商,推動國產 DUV 進入實際產線。Bernstein 分析師將華為形容為中國 DUV 項目的「項目管理者」。

進展最快的是上海宇量昇。該公司參與開發國產先進 DUV,設備已在中芯國際等晶圓廠和華為自己的產線上測試,計劃今年底生產 12 台。現階段主要先做較簡單芯片,最終目標是用於先進 AI 芯片製造。

國產 DUV 目前還沒有完全擺脫海外供應鏈。宇量昇使用的投影鏡頭仍來自德國 Zeiss,高功率光源也是主要瓶頸。華為已投資至期光子、科益虹源等公司,分別補國產鏡頭和光源。

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