分析：中國或已囤積343台浸沒式深紫外光刻機

ChainCatcher 消息，据《南華早報》報導，前美國官員稱，中國半導體工廠近年囤積數百台、價值數十億美元的浸沒式光刻機，並敦促華盛頓及其盟友停止進一步出口。2026 年 8 月成立的 Centre for Technology \& Statecraft 於 9 月下旬發布報告，估計截至 2026 年初中國晶圓廠已獲得約 343 台浸沒式深紫外光刻系統。報告由前美國出口管制官員 Nicholas Brown 與前白宮及商務部技術政策顧問 Saif Khan 共同撰寫。

報告估計其中約 270 台為阿斯麥 Twinscan NXT:1980i。作者稱，這些設備雖落後於極紫外光刻機，但可改造用於製造 7 奈米級邏輯芯片及人工智慧處理器（包括華為昇騰系列）所需的先進儲存器。中國晶圓廠 2024 年花費逾 130 億美元購入約 90 台 NXT:1980i，2025 年又購入 89 台。阿斯麥披露，按出貨目的地計，中國占其淨系統銷售額比例 2024 年為 41%、2025 年為 33%，2026 年第一季度降至 19%、第二季度降至 14%。

荷蘭自 2023 年 9 月起對 NXT:2000i 及更先進浸沒式深紫外設備要求出口許可，這些型號此後實際上被禁止運往中國；一年後許可要求擴展至 NXT:1980i，但該型號仍可個案批准出貨。