國產光刻機

ChainCatcher 消息，英國《金融時報》稱，華為正在更深地介入國產光刻機供應鏈，不僅投資相關設備和零部件公司，還在協調供應商、晶圓廠和整機廠商，推動國產 DUV 進入實際產線。Bernstein 分析師將華為形容為中國 DUV 項目的「項目管理者」。進展最快的是上海宇量昇。該公司參與開發國產先進 DUV，設備已在中芯國際等晶圓廠和華為自己的產線上測試，計劃今年底生產 12 台。現階段主要先做較簡單芯片，最終目標是用於先進 AI 芯片製造。國產 DUV 目前還沒有完全擺脫海外供應鏈。宇量昇使用的投影鏡頭仍來自德國 Zeiss，高功率光源也是主要瓶頸。華為已投資至期光子、科益虹源等公司，分別補國產鏡頭和光源。

ChainCatcher 消息，据《The Information》援引知情人士報導，一家未公開名稱的上海國資背景公司已開始生產國產浸沒式DUV光刻機，計劃今年製造約 5 台，到 2027 年 提升至約 20 台。首批設備將交付 中芯國際、華虹半導體和長鑫科技 等主要晶圓廠，但設備仍需經過精度、穩定性及產線兼容性驗證，該過程可能持續數月甚至更久。目前該設備多數部件來自國內，但部分關鍵零件仍依賴日本，性能和製造質量落後於 ASML 。作為對比，ASML 僅 2025 年 即交付約 131 台浸沒式 DUV 光刻機。國產設備雖已實現從原型測試到小批量生產的跨越，但距離大規模替代 ASML 仍有明顯差距。此前路透社報導稱，美國正考慮進一步收緊對華光刻設備出口及在華維修服務限制，此次國產設備交付恰逢這一背景。