光刻機

世界的に有名な半導体製造装置メーカーASMLの最高財務責任者（CFO）ロジャー・ダッセンは、同社が中国へのDUV露光装置の販売を制限する米国議会の提案に反対していると述べ、これは悪いアイデアだと考えていると発表しました。この発言は、同社の第3四半期の業績発表後の記者との電話会議で行われました。ダッセンは、マッチ法が米国の中間選挙後に通過すれば、中国国内での競争技術の研究開発が加速すると述べました。また、常識が勝つと楽観的に考えているとも言いました。ロイターは、マッチ法をASMLが中国にDUV露光装置を販売することを制限する米国議会の提案として説明しています。

『南華早報』の報道によると、前アメリカ官僚は、中国の半導体工場が近年、数百台、数十億ドル相当の浸漬式露光機を蓄積しており、ワシントンとその同盟国にさらなる輸出を停止するよう促していると述べています。2026年8月に設立された技術と国家戦略センターは、9月下旬に報告書を発表し、2026年初頭までに中国のウェハ工場が約343台の浸漬式深紫外線露光システムを取得したと推定しています。この報告書は、前アメリカ輸出管理官のニコラス・ブラウンと、前ホワイトハウスおよび商務省の技術政策顧問のサイフ・カーンが共同で執筆しました。報告書は、そのうち約270台がASMLのTwinscan NXT:1980iであると推定しています。著者は、これらの機器は極紫外線露光機には劣るが、7ナノメートル級のロジックチップや人工知能プロセッサ（ファーウェイの昇騰シリーズを含む）に必要な先進的なメモリの製造に改造できると述べています。中国のウェハ工場は2024年に約90台のNXT:1980iを購入するために130億ドル以上を費やし、2025年には89台を購入しました。ASMLは、出荷先の国別に見ると、中国は2024年の純システム売上高の41%、2025年の33%を占め、2026年第1四半期には19%、第2四半期には14%に減少したことを明らかにしました。オランダは2023年9月からNXT:2000iおよびそれ以上の先進的な浸漬式深紫外線機器に対して輸出許可を要求しており、これらのモデルは実質的に中国への輸出が禁止されています。一年後、許可要件はNXT:1980iにまで拡大されましたが、このモデルは依然として個別に出荷が承認される可能性があります。

ASMLは、主要顧客と協力して、NVIDIAなどの企業が設計した大規模データセンター向けのチップ需要を満たすために、最先端のチップ製造装置を生産できる新しいソリューションを開発する計画を示しました。現在、ASMLが生産している広く使用されている極紫外線EUVリソグラフィ装置は、最大約800平方ミリメートルのチップを製造できます。ASMLが近日中に発表する次世代「高数値孔径」EUVリソグラフィ装置は、より精密なチップを製造することが可能です。しかし、より小型のマスクを使用しているため、製造可能なチップの面積には制限があります。ASMLは、2031年までにより大きなサイズのマスクを使用した試験生産ラインを展示し、2033年にはこの新技術を大規模量産可能にする計画です。

英国『フィナンシャル・タイムズ』は、ファーウェイが国産露光機のサプライチェーンにさらに深く関与していると報じており、関連する設備や部品会社への投資だけでなく、サプライヤー、ウェハ工場、完成品メーカーの調整も行い、国産DUVを実際の生産ラインに導入することを推進しています。バーンスタインのアナリストは、ファーウェイを中国のDUVプロジェクトの「プロジェクトマネージャー」と表現しています。最も進展が早いのは上海宇量昇です。同社は国産の先進DUVの開発に参加しており、設備は中芯国際などのウェハ工場やファーウェイ自身の生産ラインでテストされており、今年の年末までに12台の生産を計画しています。現段階では主に比較的簡単なチップを製造しており、最終的な目標は先進的なAIチップの製造に使用することです。国産DUVは現在、海外のサプライチェーンから完全には脱却していません。宇量昇が使用している投影レンズは依然としてドイツのツァイスからのものであり、高出力光源も主要なボトルネックです。ファーウェイは期光子、科益虹源などの会社に投資しており、それぞれ国産のレンズと光源を補完しています。

ChainCatcher のメッセージによると、ASML の公式ウェブサイトにおいて、オランダの半導体製造装置メーカーであるアス麦 (ASML.O) とフランスの AI 企業である Mistral AI が長期的な戦略的提携契約を締結し、ASML の製品、研究開発および運営における AI モデルの適用を探求し、顧客の製品の市場投入速度と性能を向上させることを目指しています。ASML は Mistral AI の C ラウンドの主要投資者となり、13 億ユーロを投資し、約 11% の株式を保有し、Mistral の最大株主となり、Mistral AI の戦略委員会の席を得ることになります。この投資は Mistral の 17 億ユーロの資金調達ラウンドの一部であり、その評価額は約 117 億ユーロに達します。